發(fā)布時(shí)間:2022-01-05 | 游覽:1562
內(nèi)容摘要:特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。
特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。一般工藝氣體從鋼瓶出來(lái),經(jīng)過(guò)高壓控制盤面時(shí),都實(shí)現(xiàn)了一次調(diào)壓、過(guò)濾、流量穩(wěn)定、吹掃、抽真空、壓力偵測(cè)等功能。不同的氣體和工藝需求,可以根據(jù)實(shí)際情況定制具體功能。現(xiàn)階段,越來(lái)越多的高校實(shí)驗(yàn)室引入了ICP、PVD、PEVCD等設(shè)備進(jìn)行芯片鍍膜、刻蝕方面的研究,這些工藝氣體多是硅烷、乙烯、溴化氫等毒腐、易燃易爆性氣體,對(duì)于氣源的控制要求非常高,也給供氣面板提出了很多要求。
設(shè)計(jì)參考:
自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門,并應(yīng)為常閉氣動(dòng)閥門,位置應(yīng)靠近氣瓶;
氣瓶壓力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面 板應(yīng)設(shè)有過(guò)流開關(guān);
自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置,真空管路應(yīng)設(shè)止回閥;
氣體面板應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口。
可燃性特氣柜設(shè)計(jì)參考:
硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次/H,且氣柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控;自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器;可燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置誰(shuí)噴淋系統(tǒng);自燃性特種氣體的氣柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。
輸送控制面板的設(shè)計(jì)對(duì)于整個(gè)供氣系統(tǒng)的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用,在設(shè)計(jì)初期,業(yè)主需要將工藝、要求等提供給設(shè)計(jì)院作為設(shè)計(jì)依據(jù),同時(shí),在建設(shè)周期,有必要參考相應(yīng)的規(guī)范將要求落實(shí)到施工當(dāng)中去。
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