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特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體。

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設計將鋼瓶置于特氣柜(Gas Cabinet)內，再通過管道將氣體供應至現場附近的閥門箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再進入制程機臺的使用點(POU, Point of Use)，于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯機，以質流流量計控制器(MFC, Mass Flow Controller)進行流量之控制與進氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務系統(tǒng)的設計范疇，而是歸屬制程機臺設備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤(VMP, Valve Manifold Panel)進行供應。

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